Umgebung
Vakuumentlüftete Wellenkupplungen und Spezialschrauben, die Gaseinschlüsse verhindern und die Ausgasung geringhalten, damit Kammern schnell abpumpen und sauber bleiben.
Überblick
Bauteile im Vakuum müssen geringe Ausgasungsraten aufweisen und dürfen keine Gaseinschlüsse bilden. Eine Standardschraube in einer Sack- oder Gewindebohrung schließt darunter Luft ein: ein „virtuelles Leck", das langsam Gas abgibt, das Abpumpen verlangsamt und die Kammer verunreinigt. NBK-Vakuumschrauben besitzen eine Durchgangsbohrung, die dieses Gas entlüftet, während vakuumtaugliche Schlitz-, Balg- und Oldham-Kupplungen ausgasungsarme, korrosionsbeständige Werkstoffe verwenden.
Edelstahl ist wegen seiner geringen Ausgasung, des breiten Temperaturbereichs und der Korrosionsbeständigkeit der bevorzugte Werkstoff; Titan und Speziallegierungen sind für Ultrahochvakuum und nicht-magnetische Anforderungen erhältlich. Alle Vakuumteile können ultraschallgereinigt und reinraumverpackt geliefert werden. Vollständige Spezifikationen und CAD-Dateien finden Sie auf nbk1560.com. Nennen Sie uns Kammerdruck und Werkstoffe, wir finden das passende Teil.
Entlüftete Durchgangsschrauben lassen eingeschlossenes Gas entweichen, sodass das Abpumpen schnell bleibt.
Edelstahl, Titan und Speziallegierungen halten Kammern sauber.
Optionale Ultraschallreinigung und Reinraumverpackung auf Anfrage.
Einteilige Schlitzkupplungen für Reinraum, Vakuum und Hitze: spielfrei, partikelarm und mit hervorragender Chemikalien- und Korrosionsbeständigkeit.
Hitzebeständige, chemikalienfeste Oldham-Wellenkupplungen mit PEEK- oder VESPEL-Gleitstein für Reinraum und Vakuum: hoher Versatzausgleich und elektrische Isolierung.
Entlüftete (durchbohrte) Zylinderkopfschrauben, die beim Abpumpen eingeschlossene Luft und Gase ableiten und so virtuelle Lecks in Vakuum- und Reinraumsystemen verhindern.
Titanschrauben aus Grade 2 und Grade 5: leicht, unmagnetisch und chemisch beständig für Medizin-, Luftfahrt- und Halbleiteranwendungen.
Schrauben für Einsatztemperaturen weit über 200 °C: SUS316L, Molybdän, Keramik, Vespel, Hastelloy und Inconel für Öfen, Plasma und Hochtemperatur-Prozessanlagen.
Die Durchgangsbohrung entlüftet Luft, die sonst unter der Schraube in einer Sack- oder Gewindebohrung eingeschlossen würde. Diese eingeschlossene Luft ist ein virtuelles Leck, das das Abpumpen verlangsamt und die Kammer verunreinigt; ihre Entlüftung ist daher für zuverlässige Vakuumleistung entscheidend.
Edelstahl-Schlitzkupplungen (MSTS, XSTS, XWSS) und Reinraum-/Vakuum-Oldham-Kupplungen (MOP, MOHS) sind vakuumtauglich; sie verwenden ausgasungsarme, korrosionsbeständige Werkstoffe und auf Wunsch Reinraumreinigung.
Unsere Ingenieure helfen bei der Auswahl der richtigen Kupplung oder Schraube und erstellen ein Angebot.
